ETSys-Map-PV在线薄膜测量系统

 ETSys-Map-PV是针对高端薄膜太阳电池研发和质量控制领域中大面积样品检测专门设计的在线薄膜测量系统。
    ETSys-Map-PV用于对1.4m * 1.1m及以上的大面积薄膜太阳电池样品进行在线检测。可测量光滑平面或粗糙表面基底上的纳米薄膜，包括单层或多层纳米薄膜样品的膜层厚度、折射率n和消光系数k；并可同时测量块状材料的折射率n和消光系数k。可测量样品上区域的样品参数以及样品表面的均一性分布。
    ETSys-Map-PV融合量拓科技在高精度激光椭偏仪及光伏在太阳能电池领域的技术和产品设计方面的经验。
特点:
大面积绒面样品上全表面测量
可对大面积绒面薄膜太阳电池样品上各点的性质进行分析和比较。光能量增强技术、低噪声的探测器件以及高信噪比的微弱信号处理方法，实现了对粗糙表面散射为主和反射率为特征的绒面太阳电池表面镀层的高灵敏检测。
微米量的全面积扫描精度
系统设计，能够使探头到达样品上每个点，扫描精度达到微米量。
原子层量的膜厚分析精度
采用非接触、无破坏性的椭偏测量技术，对纳米薄膜达到的测量准确度和灵敏度，膜厚测量灵敏度可达到0.05nm。
简单方便安全的仪器操作
用户只需一个按钮即可完成复杂的材料测量和分析过程，数据一键导出。丰富的模型库、材料库方便用户进行高测量设置。
应用:
      ETSys-Map-PV适合于高精度要求的薄膜太阳电池研发和质量控制。
  ETSys-Map-PV可用于测量大面积的薄膜太阳电池样品上单层或多层纳米薄膜层构样品的薄膜厚度、折射率n及消光系数k；
  ETSys-Map-PV可用于测量块状材料的折射率n及消光系数k；
  ETSys-Map-PV可应用于：
大面积薄膜太阳电池基底的材料测量
薄膜太阳电池玻璃基底上透明导电氧化物（TCO）镀膜测量
 

技术指标:

项目	技术指标
系统型号	ETSys-Map-PV
结构类型	在线式
激光波长	632.8nm (He-Ne laser)
膜厚测量重复性（1）	0.05nm (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)
折射率n精度（1）	5x10-4  (对于Si基底上100nm的SiO2膜层)
结构	PSCA
激光光束直径	~1 mm
入射角度	60°-75°可选
样品放置	放置方式：水平 运动：X轴单方向运动 运动范围：>1.4m 三维平移调节 二维俯仰调节 可对样品进行扫描测量
样品台尺寸	1.4m*1.1m，并可定制。
测量速度	典型0.6s-4s /点（取决于样品种类及测量设置）
大的膜层厚度测量范围	光滑平面样品：透明薄膜可达4000nm，吸收薄膜与材料性质相关
选配件	样品监视系统 自动样品上片系统

  注：（1）测量重复性：是指对标准样品上同一点、同一条件下连续测量25次所计算的标准差。
性能保证
高稳定性的He-Ne激光光源、高精度的采样方法以及低噪声探测技术，保证了系统的高稳定性和高准确度
稳定的结构设计、可靠的样品方位对准，结合的采样技术，保证了快速、稳定测量
一体化集成式的结构设计，使得系统操作简单、整体稳定性提高
一键式软件设计以及丰富的物理模型库和材料数据库，方便用户使用
 可选配件：
 NFS-SiO2/Si二氧化硅纳米薄膜标片
 NFS-Si3N4/Si氮化硅纳米薄膜标片